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テクノクオーツ (5217)

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5217 テクノクオーツ てくのくおーつ [ ガラス・土石製品 ]
【URL】https://www.techno-q.com/
【決算】3月
【設立】1976.10
【上場】1999.9
【特色】半導体製造向け石英部品の専業。山形県に3工場。中国では第3工場竣工。GLサイエンス系

テクノクオーツ株式会社(英: Techno Quartz Inc.)は、東京都新宿区に本社を置く、半導体製造装置用部品メーカー。分光光度計用の石英硝子、パイレックス硝子等のセルの製造販売を目的にジーエルサイエンスの子会社として設立された。 旧社名は株式会社ガスクロ・ヤマガタ。

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主な製品

  • 縦型石英ボート – 半導体製造装置向けの縦型石英ボート。
  • 石英台座
  • ガス分散板 – 精密穴加工を行った石英板。
  • Siガスシャワープレート – 精密穴明けを行ったシリコンプレート。

事業分野

半導体製造装置用製品

  • 反応管
  • キャリアボート
  • ベルジャー
  • 石英リング
  • シリコン電極

理化学機器用製品

  • 石英ガラスセル
  • G・Lクロマトグラフィー用製品
  • テドラーバッグ
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