5217 テクノクオーツ てくのくおーつ ［ ガラス・土石製品 ］
【ＵＲＬ】https://www.techno-q.com/
【決算】3月
【設立】1976.10
【上場】1999.9
【特色】半導体製造向け石英部品の専業。山形県に３工場。中国では第３工場竣工。ＧＬサイエンス系
テクノクオーツ株式会社（英: Techno Quartz Inc.）は、東京都新宿区に本社を置く、半導体製造装置用部品メーカー。分光光度計用の石英硝子、パイレックス硝子等のセルの製造販売を目的にジーエルサイエンスの子会社として設立された。 旧社名は株式会社ガスクロ・ヤマガタ。
主な製品
- 縦型石英ボート – 半導体製造装置向けの縦型石英ボート。
- 石英台座
- ガス分散板 – 精密穴加工を行った石英板。
- Siガスシャワープレート – 精密穴明けを行ったシリコンプレート。
事業分野
半導体製造装置用製品
- 反応管
- キャリアボート
- ベルジャー
- 石英リング
- シリコン電極
理化学機器用製品
- 石英ガラスセル
- G・Lクロマトグラフィー用製品
- テドラーバッグ