ローツェ（6323）

2022.06.28

6323 ローツェろーつぇ［機械］
【ＵＲＬ】https://www.rorze.com/
【決算】2月
【設立】1985.3
【上場】1997.12
【特色】半導体や液晶工場に導入されるウエハ、ガラス基板の搬送装置を製造。台湾や米国に大口顧客

ローツェ株式会社（英: RORZE CORPORATION）は広島県福山市神辺町に本社を置く企業で、半導体関連装置、FPD関連装置、モータ制御機器、ライフサイエンス関連装置(自動細胞培養装置等)の開発、製造、販売を行っている。

主な製品

ウエハあるいはガラス基板等を汚染することなく搬送するロボットである。半導体製造工程では真空環境を用いる処理があるため、大気用搬送ロボットと真空用搬送ロボットの2種類がある。

また、この搬送ロボットのカテゴリには、ウエハの整列やウエハに付されているロットナンバーの読み取りを行う「アライナ」や、ウエハを格納している容器（FOUPやFOSBと言う）の蓋を開閉する「ロードポート」なども含まれる。

前面にロードポートを持ち、内部にウエハ搬送ロボットやアライナを搭載した装置で、プロセス装置の前面に設置される。ウエハを格納している容器（FOUPやFOSBと言う）とプロセス装置の間でウエハを搬送する装置である。

装置内にあるウエハ搬送ロボットがFOUPに保管された複数のウエハの中から1枚ずつ取り出し、ウエハに付されたロットナンバーを読み取り装置で光学的に読み取り、振り分けを行い、別のFOUPに収納するなど、FOUP間でウエハの移載を行う搬送装置である。

ウエハ保管庫の内部を窒素ガスで満たすことによって「無酸素・低湿度」の環境を作り出し、ウエハ表面への自然酸化膜の形成を抑制しながら工程間でウエハを保管する大型の装置である。数千枚規模の大量のウエハを一度に保管することができる。

液晶テレビやパソコン、スマートフォンやタブレットなどの液晶ディスプレイに使用される、極薄で大型のガラス基板を製造工程中で搬送する装置である。このほか、液晶ディスプレイ用大型ガラス基板をレーザを使用して切断するガラスカッティングマシン（GCM）もある。

創薬のための研究開発や、iPS細胞をはじめとする細胞培養に携わる研究者が手作業で行っている細胞培養処理を自動で行うことを実現するインキュベータ（細胞培養装置）や、ソフトウェアパッケージなどがある。

ロボットやウエハ搬送機およびガラス基板搬送機には多数のモータが組み込まれており、これらが適切に制御・駆動されることによってロボットや装置は機能する。モータ制御機器は、これらのモータを制御・駆動するための機器であり、ステッピングモータ、ステッピングモータドライバ、モーションコントローラなどがある。